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光學測量系統(tǒng)對微尺度的精密檢測

文章出處:網(wǎng)責任編輯:作者:人氣:-發(fā)表時間:2014-05-28 15:36:00

   在理想狀況下,采用光學或其它非接觸式檢測技術來測量復雜的微加工零件或許是佳方式,但這往往卻并不容易實現(xiàn)。光學測量系統(tǒng)的優(yōu)點是測量速度快、不會引起零件變形,但其也有一定局限性,如工件的可見邊緣往往無法反映其后被遮擋部分的情況。此外,光學測量系統(tǒng)通常不能確定諸如平行度、垂直度、圓柱度、平面度等三維形狀位置精度。

   然而,將幾種傳感技術的優(yōu)勢結合在一起而構建一個單一測量系統(tǒng),就可以在一次安裝中對復雜零件的所有關鍵參數(shù)進行測量。這些多傳感器測量系統(tǒng)通常包含有非接觸式傳感器——視頻、白光和,或激光測頭——用于工件表面和邊界的測量,觸發(fā)式和掃描測頭則可以測量非接觸探測裝置不能到達的位置,如深的階梯孔。

探測微尺度

   傳統(tǒng)的測量技術(如三坐標測量機的觸發(fā)式測頭正在不斷改進以適應變化的需求。如今的傳感器具有不同的觸發(fā)測力、不同長度的測桿以及不同尺寸和材料的探針等。但是,當尺度變得更小時,就存在一個物理極限,測頭的尺寸再小就難以保證可靠的觸發(fā)。例如,細的探針在觸發(fā)前可能會彎曲變形,導致對工件表面位置的錯誤指示:或者長的探針可能會發(fā)生“震顫” (觸碰孔或槽的邊緣)而發(fā)訊采樣,而實際上測尖并未接觸到被測位置的孔壁。由于制造技術的進步和采用放電加工(EDM),人們已經(jīng)能夠制造出許多微型結構 (如微型孔、口),但這些微結構很難測量。在某些情況下,觸發(fā)式測頭的測尖大小或探針長度可能會使觸發(fā)測量變得完全不可能。在測量小的溝槽、小孔或孔口斜度時,采用觸發(fā)式測量技術可能并不合適,因為常規(guī)測頭偏斜一定位置后才能發(fā)訊采樣。

   在機加工中,測頭的使用方式通常可分成兩種,種測頭是作為附件加裝在原有的機床上,也稱為主軸安裝測頭;第二種測頭則是完全設置在機床內,稱為集成式測頭。后者能夠折疊收回,因此不會妨礙工具系統(tǒng)工作,也不需要更換機構。機床集成式測頭工作可靠,使用方便,還減少了如處理電纜線、抗電磁干擾和提供電源等諸多麻煩。

   一臺傳統(tǒng)機床安裝集成測頭后,就成為了一臺能感知和反映其環(huán)境狀態(tài)的機床。在加工零件尺寸越來越小、種類越來越多的今天,具備這種功能的機床是很有價值的。

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