集成電路（IC）芯片廣泛應(yīng)用于各種現(xiàn)代電子設(shè)備中，三維引腳外觀是衡量芯片質(zhì)量的一個重要指標之一，而IC引腳的平面度和正位度是影響線路板柱狀質(zhì)量的重要因素。如何在生成過程中檢測IC引腳的三維尺寸、平面度和正位度，從而控制和提高產(chǎn)品的表面質(zhì)量是電子行業(yè)一直關(guān)注的內(nèi)容。

  針對IC引腳三維尺寸，電子引腳平面度正位度的檢測，傳統(tǒng)的方法是采用人工來進行，這種檢測方式效率低下，借測結(jié)果容易受到人的主觀因素影響，檢測人員的勞動強度大，檢測質(zhì)量無法得到保證。

  為了適應(yīng)企業(yè)現(xiàn)代化生產(chǎn)的需要，海科思化研發(fā)團隊開發(fā)了一套基于機器視覺的平面度檢測系統(tǒng)—激光平面度測量儀。此款設(shè)備采用專利三度空間燈管照明系統(tǒng)，在面對某些特殊被測量物時，可利用不同的光線效果以凸顯被測物的特性以更精確的抓取尺寸并達到高重復(fù)精度的上光源精確測量功能。平面度測量儀具有高分辨率彩色CCD，高清晰度影像效果，高品質(zhì)的畫面。相較于之前的人工或半自動檢測，平面度測量儀采用全伺服閉環(huán)控制，具有全自動測量功能，效率和精度都是傳統(tǒng)測量方式所不能比的。在IC芯片三維引腳的外觀尺寸檢測，如：引腳棧高、引腳共勉度、引腳長度、引腳寬度、引腳間距、引腳跨距等以及引腳的平面度正位度測量中表現(xiàn)不俗。

  在控制系統(tǒng)中，首先根據(jù)IC生產(chǎn)線速度和期望目標，基于電機編碼器反饋信息，啟動機械傳送裝置水平方向運動控制器，實現(xiàn)粗控制；然后，在此基礎(chǔ)之上，利用CCD 相機對IC的成像信息作為反饋信息，終實現(xiàn)精確控制。在精確測量時，為保證成像質(zhì)量，通過伺服電機對相機高度的控制和圖象處理軟件對聚焦的信息反饋實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)焦距的功能。

  基于機器視覺技術(shù)的引腳平面度測量儀，大大提高了工業(yè)檢測及測量的實時性和準確性，生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量控制得到明顯提升，其應(yīng)用市場也將不斷擴張。

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